3月5日晚，科创板半导体设备龙头企业芯源微发布公告称，拟筹划控制权变更事项，公司股票自3月6日起停牌，预计停牌时间不超过2个交易日。

资料显示，芯源微主要经营半导体专用设备的研发、生产和销售，是国内半导体专用设备领域的领军企业，自2002年成立以来，始终专注于光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备等核心产品的研发与制造。

值得注意的是，作为市值超170亿元的国产半导体设备厂商，芯源微处于无控股股东和实控人状态已逾11年。

事实上，芯源微的实际控制权变化历程较为复杂。其前身芯源有限成立于2002年12月，当时先进制造对其持股71.43%，中科院沈阳自动化研究所通过控股先进制造，成为芯源有限的首个实际控制人。

2003年6月，先进制造完成增资扩股，中科院沈阳自动化研究所持有先进制造的股份比例降至40.54%，芯源有限随即变更为无实际控制人。2010年8月，郑广文通过收购先进制造一名股东70%股权，间接控制了先进制造，成为公司第二个实际控制人。

但到了2013年8月，先进制造将其所持芯源有限26.27%股权直接转让给中科院沈阳自动化研究所，使得先进制造持有芯源有限股权比例减至35.86%。

这导致，尽管转让后的先进制造仍是芯源有限第一大股东，但中科院沈自所、科发实业分别持有芯源有限26.27%、24.85%股份，使得身为先进制造实控人的郑广文无法控制芯源有限半数以上的董事会席位，公司再度变更为无实际控制人。

该状态一直延续至近，截至2024年9月末，公司前三大股东分别为辽宁科发实业（10.61%）、沈阳先进制造（9.49%）和沈阳中科天盛自动化（2.92%），均为国有法人或国资背景企业。由于无单一股东持股比例超过30%，且各方无法决定董事会多数席位，公司治理长期依赖股东协商机制。

分析人士表示，在半导体设备国产化浪潮下，稳定的控制权结构或成为公司突围的关键。因此，此次控制权变更或成为其发展历程中的重要转折点。

值得一提的是，目前芯源微业正面临业绩下滑的状况，据业绩快报，公司2024年营收17.70亿元，同比微增3.09%；归母净利润2.11亿元，同比下降15.85%。公司解释称，净利润下滑主因为研发投入加大、成本费用增长及政府补助增加等。